立式氣氛爐的爐體密封組成分析
更新時間:2019-06-23 點擊次數(shù):2032
立式氣氛爐的爐體密封組成分析
立式氣氛爐的爐膛采用莫來石聚輕+硅酸鋁纖維材料砌筑而成,爐膛內上下用碳化硅棚板,爐內溫度是加熱元件在加熱過程中經(jīng)過碳化硅棚板傳導(暗火加熱),溫度更均勻。爐殼全密封。為提高密封墊的使用壽命在爐門口設有循環(huán)水冷套以降低密封處的溫度。進氣設爐膛頂部,經(jīng)加熱腔預熱后分多處進入爐內,排氣經(jīng)爐膛底后部排出,裝有一調節(jié)閥,用于排氣口的開關。氣路上裝有氣體流量計,用于正常使用控制氣氛流量。裝有微壓表,檢測電爐是否漏氣。在爐口有一放水口,用于排出爐內在充氣升溫過程中產(chǎn)生的水份。
立式氣氛爐的真空系統(tǒng):
1.真空機組為旋片泵-羅茨泵。
2.配有高真空擋板閥門、波紋管、電磁放氣閥、管路等。
3.真空閥門均采用氣動高真空擋板閥。該閥門的開啟與閉合均由PLC控制,且聯(lián)動互鎖,斷電時閥門自動關閉以保證氣氛爐爐內真空度,避免工件氧化。
4.真空測量采用數(shù)顯真空計及配套規(guī)管,該真空計可以實現(xiàn)測量過程中的量程自動轉換和超程保護,并具有數(shù)據(jù)輸出、故障報警等多種功能。
立式氣氛爐適用于金屬、納米、單晶硅、多晶硅、電池等的擴散焊接,氣氛熱處理的加熱設備用于材料或化學實驗室,在氣氛狀態(tài)下燒結各種新材料樣品。立式氣氛爐爐體的密封包括幾個部分:
1.水冷套下部有一進水管,上部有一出水管,并有一出氣口和進氣口;
2.爐體采用密封式焊接,并做煤油滲漏檢查;
3.爐內膽與爐蓋采用高溫硅膠墊密封;
4.氣氛爐爐體的下部,左部、右部安裝有進氣管和閥門,供用氣體洗爐膛用;
5.氣氛爐的爐門板通過螺栓與水冷套面板壓緊,爐體后部設一進氣口,以不銹鋼針閥和爐體右邊的浮子流量計控制進氣量。爐體前端的水冷套部設有排氣管,用于排除爐內廢氣。排氣管上裝有球閥,可控制排氣量大小。